YAMAMOTO山本镀金晶圆电镀机 A-52-ST□-P02A

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产品名称：YAMAMOTO山本镀金晶圆电镀机
产品型号：A-52-ST□-P02A
产品厂商：YAMAMOTO山本镀金
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简单介绍：

这是一套用于 2~12 英寸硅片的电镀设备。通过使用专用夹具，可以进行半导体和 MEMS 的精密电镀

详情介绍：

产品信息
A-52 硅片电镀实验室设备套装

晶圆电镀机

A-52 硅片电镀实验室设备套装

这是一套用于 2~12 英寸硅片的电镀设备。通过使用专用夹具，可以进行半导体和 MEMS 的精密电镀。

长处

水族箱的结构可以从水箱底部产生温和的对流，并在不断过滤的同时溢出。
有单侧溢流型和双侧溢流型，可实现高速搅拌。桨式搅拌用于直接搅拌。
它也可以用作生产设施。
已在日本和海外获得多项**，另有多项**正在申请中。

基材

它不仅可以用于硅晶片，还可以用于由 SiC、玻璃、GaAs 和 InP 等材料制成的基板。

关于定制生产

在标准设备的基础上，可以根据客户的样品定制成形状的夹具或双面电镀的夹具。
我们还拥有制造设备的良好记录，例如用于阳极氧化和阳极氧化的夹具。
夹具有多种类型，例如全封闭夹具、非密封夹具和水平夹具，因此请使用咨询表与我们联系。

Set Breakdown

A-52-ST□AWJYPPA 硅晶片电镀实验室设备套装型号 WJ（用于 YPP 电源）

产品编号	产品名称	数量
A-52-ST□-P01A	硅晶片水箱（亚克力双底型）	1
A-52-ST□-P02A	硅晶片用阴极盒（标准型）（*1）	1
A-52-ST□-P09A	硅片用阳极座（带拉丝阳极背）（*2）	1
A-52-ST□-P04D	桨式搅拌器	1
B-90-A20-APFA05/ B-90-A40-APFWJ05	迷你滤镜 20APFA 型（适用于 2-6 英寸）迷你滤镜 40APFWJ（适用于 8 英寸）	1
型号 A-63-M202 B-92-M10-P04A	气泵 M202 （AC100V）（2-4inch） 10L 水箱气泵（5-8inch）	1
A-52-P18	空气过滤器	1
A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A	威化水族加热器 WJ2型（2英寸） 300W PFA涂层加热器（AC100V） 300W石英小型浸没式加热器 WJB型（5-6英寸） 500W石英加热器（8英寸）	2 1 3 3
–	温度传感器、加热器停止	1

（*1）请从 Orifra 型/缺口型中选择。还有密封/吸力密封型。
（*2）不溶性阳极也有隔膜型。
（*3）产品编号上的 □ 标记包含英寸数。
这是 YPP 电源的套装。电源、温度控制器和阳极板单独出售。请分别指定 A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D 的电源。 PC 单独出售。

强力搅拌水箱（双面溢流式，搅拌速度约2倍）

通过将溢流从一侧减少到两侧，桨叶搅拌的速度已提高到*大 130 rpm。液体的混合效率提高，可以进行更稳定的电镀。此外，还增加了液体飞溅防止结构。

产品编号	产品名称	数量
A-52-ST□-U	硅晶片水箱（亚克力双底型）	1

它目前是定制产品。请联系我们了解尺寸和规格。
根据镀层的类型和大小，我们可能会提出三面溢流型。

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产品名称：YAMAMOTO山本镀金晶圆电镀机