HORIBA堀场光纤型化学药液浓度计 CS-152F1

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产品名称：HORIBA堀场光纤型化学药液浓度计
产品型号：CS-152F1
产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：

光纤型化学药液浓度计 CS-100F1 系列在CS-100的基础上配备光纤。样品单元直接集成到于清洗系统的管路，并使用光纤电缆传输光信号，提供实时在线测量。每台浓度计可实现多达四种药液的测量，可以在单槽或单晶圆清洗系统中检测多种化学药液。

详情介绍：

可测量化学药液示例

使用在线样品单元实时跟进浓度信息
使用直接连接清洗系统主管路的在线样品单元实时检测浓度。
多达四种药液的多重检测
每台浓度计可测量多达四种化学药液或浓度范围。用户可单次检测多种化学药液的浓度（或不同配比的化学药液），如单槽或单晶圆清洗系统。
更高精度的样品单元类型
为保证稳定性，还提供一种样品单元类型，支持使用浓度计输出信号反馈进行控制。该浓度计还支持将化学药液浓度保持在可接受的范围内，并消除不必要的化学药液变化。
电气单元和测量单元完全分离，**安装
符合 RoHS 标准

型	CS-151F1 系列	CS-152F1 系列	CS-150F1 型
测量对象	SC-1 （氨/过氧化氢水溶液）	SC-2 （盐酸/过氧化氢水溶液）	SPM （硫酸/过氧化氢水溶液）
测量对象	一个单元*多可提供 4 种化学溶液或范围的多重监测。
测量原理	吸收光谱法
浓度计算原理	温度补偿多变量分析
测量范围（质量 %）	新罕布什尔州3：0.00% 至 1.00% H2或2： 0.00% 至 5.00% H2O： 94.0% 至 100.0%	HCI：0.00% 至 2.00% H2或2：0.00% 至 2.00% H2O： 96.0% 至 100.0%	H2所以4：70.0% 至 96.0% H2或2： 0.00% 至 10.00% H2O： 4.0% 至 30.0%
重复性（质量 %）（±1% 室温内）	新罕布什尔州3：±0.15% H2或2： ±0.30% H2O： ±1.5%	HCI：±0.15% H2或2： ±0.15 % H2O： ±1.5%	H2所以4：±0.50% H2或2：±0.50% H2O： ±1.5%
重复性（质量 %）（±1% 室温内）	・上述列表的重复性是针对单元类型的。请联系我们了解在线比色皿类型的可重复性。・根据测量范围，上述列表可能会有所不同。（详情请参阅我们的网站。
样品溶液温度	20 到 80：（使用 Inline Cell 时）20 到 30：（使用 Cell Unit 时）
测量周期	约 3 秒
LCD 和输入的内容	• 第 1 个组件：测得的浓度值（%） •错误代码 • 第 2 个组件：测得的浓度值（%） •并联浓度警报输出无效状态 • 第 3 个组件：测得的浓度值（%） •串行/并联状态 • 第 1 个和第 2 个组件：浓度警报状态 •背景补偿数据
RS-232C 串行输入	• 串行/并联状态切换 • 并联浓度报警输出状态 • 测量数据传输请求（有效/无效） • 第 1 组分和第 2 组分浓度报警设置 • 目标测量溶液切换
并行输入	12 至 30 V DC（光电耦合器绝缘） • 并联浓度报警输出 • 目标测量溶液切换 • 背景补偿
并行输出	集电极开路输出（光电耦合器绝缘） • *成分浓度报警，4种开启时大电流： • *成分浓度报警，4种DC 5 mA（无内部保护电阻） • 设备错误关闭时大外加电压：30 V DC • 测量 • 目标测量溶液类型 • 背景补偿状态
溶液温度输入	接线端子连接（M3 端子螺钉） • 铂电阻温度传感器：Pt100（Pt100 传感器应由客户准备）
模拟输出	• 第 1 组分浓度警报，4 种类型：4 至 20 mA • 第 2 组分浓度警报，4 种类型：4 至 20 mA ✽我们还支持其他测量范围。请在订购时注明。
光缆	专用 CS-100F1 系列光缆（25 ±15：安装温度）
样品池	我们可以为各种化学溶液提供专用样品池（在线池或池单元）。
电源	100 V 至 230 V AC（单相）±10%、50/60 Hz、约 100 VA
尺寸	205 （W） x 329 （D） x 269 （H） mm 8.1 （W） x 13.0 （D） x 10.6 （H）英寸（不包括突出部分）
重量	约 11 kg

可滚动

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图表

浓度监测器

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产品名称：HORIBA堀场光纤型化学药液浓度计

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