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  • 产品名称：HORIBA堀场化学药液浓度计

  • 产品型号：CS-100
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
HORIBA CS-700 化学药液浓度计能够对先进半导体制程中使用的复杂化学药液的单个化学成分进行高性能测量。 通过改进 HORIBA 的光谱测量技术，CS-700 测量性能提升高达 5 倍。 提供增强的质量控制，改进半导体制程。
详情介绍：
适合控制化学药液的单个成分。
  • 实时、高性能检测多达 8 种组分
  • 无需试剂，零样品消耗，降低拥有成本

  • 安装简单，即装即用


  • 测量范围和重复性

    单位 ： 质量%

      元件 可测量范围 重复性
    第 1 个解决方案 HNO公司3 30.0 - 34.0 ±0.5
    高频 2.00 - 4.00 ±0.10
    H3后4 35.0 - 39.0 ±0.6
    H2硅橡胶6 0.00 - 3.00 ±0.50
    H2或 25.0 - 33.0 ±1.0
    可滚动

    测量
    条件 1） 测量间隔：约 8 秒
    2） 移动平均时间：10 倍
    3） 大气温度、化学温度波动：+/- 1 摄氏度以内（时间：1 小时）。应避免温度突然变化
    4） 样品温度条件：20 至 30 摄氏度

    • 重复性是在 1 小时连续测量周期内与平均测量值的*大偏差。
    • 上表中的值是 4 - 20 mA 之间的模拟输出值。（*大电阻 500Ω）

    规格与旧型号的比较

     

    项目 CS-100 型 CS-700 型
    测量原理 吸收光谱法 吸收光谱法
    样品温度 20 至 30 摄氏度 20 至 30 摄氏度
    环境温度 20 至 25 摄氏度 20 至 30 摄氏度
    组件 *多 4 个组件 *多 8 个组件
    化学范围 *多 4 个量程 *多 6 个量程
    通信 并行 I/O、模拟输出、RS-232C 并行 I/O、模拟输出、RS-232C
    模拟输出
    （4-20 mA）     		*多 2 个组件 *多 6 个组件
    尺寸 205（宽） X 329（深） X 269（高）毫米 218（宽） X 391（深） X 213（高）毫米
    电源 直流 24V DC 24V（与 CS-100 相同）
    易损件 卤素灯 卤素灯（与 CS-100 型相同）
    波长 紫外/近红外 紫外/近红外
    接液材料 PTFE、PFA、蓝宝石或石英、 PTFE、PFA、蓝宝石、
    Kalrez 4079 O 形圈
    可滚动

    图表



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