HORIBA堀场排气压力控制器 EC-5202

产品分类

联系我们

产品详情

所在位置: 首页> 产品目录> HORIBA堀场>

查看大图

你添加了1件商品查看购物车

简单介绍：

EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。

详情介绍：

优点:

当排气流量被调整到适合水平：

与流量传感器控制相比，由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小，同时消除了湍流和其他噪声的影响，确保控制精准、稳定、迅速。

型号 EC-

5104

5105

5202

兼容尺寸

西北 40

西北 50

25 mm PTFE 接头

1 英寸 PTFE 接头

气体接触区域的材料

SUS316L、氟橡胶

PTFE， PEEK，氟橡胶

电导
率（在真空区域）

0.4 至 80 升/秒

0.6 至 200L/s

——

100 mm H2O
时的流出量（完全闭合）

20升/分钟

25升/分钟

3升/分钟

* 此产品受日本出口管制法（即在其管制清单上）的约束。在从日本出口到海外或供应给非居民之前，必须从日本经济产业省（METI）获得出口许可证。

可滚动

外形尺寸

Exhaust Pressure Controller EC-5000 Series Dimensions1

* 请输入您的名字，方便我们和您联系

* 请输入您的电话，方便客服及时解答您的问题

* 请输入您详情地址，方便详细提供当地的市场讯息

产品名称：HORIBA堀场排气压力控制器