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  • 产品名称：HORIBA堀场平面碳传感器电导率计

  • 产品型号：FS-09F-1/2
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
研磨液浓度控制的理想选择 有效保持恒定的研磨液稀释度。 保持适当的电导率值有助于保持晶圆抛光制程中的工艺稳定性。 即使是高粘度样品液体（如 CMP 研磨液）也可以正常测量，因为其使用的传感器结构降低了样品液体附着在电极上的风险。 同时，传感器由具有良好耐化学性的接液材料制成，符合半导体制程的清洁度要求。 此外，它还可以用于半导体制程开发阶段的引入和特殊化学药液的电导率控制。
详情介绍：



高精度/高稳定性

  • 测量范围：0 至 2,000 μS/cm, 0 至 10,000 μS/cm
  • 重复性：± 0.5% F.S.，± 1.0% F.S.

无金属污染

由于电极材料采用特殊碳制成，因此无需担心金属洗脱污染问题。

配备浓度换算功能

通过输入化学药液浓度和电导率之间的关系以及温度特性，可实现两种不同类型的浓度换算。
特别适用于低浓度化学品的稀释控制。

节省空间

通过缩小传统电导率传感器的尺寸，提高了安装布局的自由度。

 

安装式例


■规格转换器

产品名称 电导率仪
型 HE-960LF 系列
测量方法 电极类型（2 电极法）
温度
规格 传感器 		铂电阻 1000Ω/°C
测量
范围 		电导池常数 0.1/厘米 1.0/厘米
传导率 0.00 至 20.00μS/cm 0.0 至 200.0μS/cm
0.0 至 200.0μS/cm 0 至 2000μS/cm
0 至 1000μS/cm 0 至 10000μS/cm
*原始电导率测量范围 通过设置更改进行切换
温度 0 至 100°C 实际温度测量范围取决于所连接传感器的性能。
浓度
换算 		选项 1,2 0 至 10.000% 换算公式由用户
定义（温度补偿和浓度换算）
重复性 电导池常数 0.1/厘米 1.0/厘米  
传导率 0.00 至 20.00μS/cm 范围 0.0 至 200.0μS/cm 范围 ±0.5% 满量程以内
0.0 至 200.0μS/cm 范围 0 至 2000μS/cm 范围
0 至 1000μS/cm 范围 0 至 10000μS/cm 范围 ±1.0% 满量程以内
温度 ±0.5°C
条件 等效输入
线性 电导池常数 0.1/厘米 1.0/厘米  
传导率 0.00 至 20.00μS/cm 范围 0.0 至 200.0μS/cm 范围 ±0.5% 满量程以内
0.0 至 200.0μS/cm 范围 0 至 2000μS/cm 范围
0 至 1000μS/cm 范围 0 至 10000μS/cm 范围 ±1.0% 满量程以内
温度 ±0.5°C
条件 等效输入
传输输出 输出数量：4
DC4 至 20mA / 0 至 20mA 输入/输出 隔离型
*大负载电阻 ： 900Ω
传输输出范围 ： 在测量范围内
自由设定 （每个传输输出通道的负端子连接在内部，因此
具有相同的电位。
触点输出 继电器数量：5
个报警触点 R1、R2、R3 和 R4
触点类型继电器：继电器触点，SPST（1a）
触点额定值：240 V AC，1 A 或 30 V DC，1 A（电阻负载）
触点功能 上下 ON/OFF 警报每个测量项目。
联系人作 Closed when status is in the event.
当任何错误状态为正常或电源关闭时打开。
R1、R2 和 R3 共用一个端子。
自诊断触点 RF
触点类型 ： 继电器触点 ， SPDT （1c）
触点额定值：240 V AC，1 A 或 30 V DC，1 A（电阻负载）
C-常开触点动作 ： 状态正常时闭合。当
检测到任何错误状态或电源关闭时打开。R4 和 RF 共用一个端子。
联系人输入 输入数量：1
触点类型：集电极开路。无电压触点
功能 ： 按住命令
通信输出 RS-485 通信
自检 传感器诊断（温度传感器短路和断开）。
转换器错误
电导率温度
补偿
 ● 任意温度系数输入
（参考温度：25°C，温度系数：0%/°C 至 5%/°C）
● 任意温度补偿公式输入
（参考温度：25°C，公式由用户定义）
● 不进行温度补偿。
温度
补偿范围 		0 至 100°C
低于 0°C 和高于 100°C 的温度补偿通过功能进行扩展
环境温度 5 至 45°C
相对湿度 -25 至 65°C
电源 额定电压 24 V DC，10W（*大）
结构 室内用面板安装类型
面板外壳 ： ABS， 端子 ： PBT
面板 ： IP65 防尘防水结构
符合标准 CE 标志 EMC 指令：EN61326-2-3
FCC 规则 FCC 第 15 部分
质量 约 550 克
外形尺寸 96 （W） × 96 （H） × 115 （D） mm
表壳深度：约 105 毫米（面板安装时）
兼容的传感器 FS-09F-1/2型
可滚动

 

■规格感应器

型 FS-09F-1/2型 FS-09F-1/2-200型
接液材料 玻璃碳，PFA。卡雷兹® 6375
管道尺寸 1/2 英寸
流量 0 L/min 至 10
保持足够的流速以测量*新样品。
样品压力 0 至 0.3MPa （温度 ： 20 至 30 度°C）
样品温度 20~30°C
如果环境温度
与样品液温差为 5°C，
则会出现约 1°C 的测量误差。
电缆长度 约 3.5 米
可滚动

 

尺寸 （mm）




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