HORIBA堀场四极杆质量分析仪 QL-SG02-100-1A

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产品名称：HORIBA堀场四极杆质量分析仪
产品型号：QL-SG02-100-1A
产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：

MICROPOLE 系统是*小的质谱系统之一，易于安装。该系统已被证明是许多腔室表征应用的理想解决方案。紧凑的尺寸是通过微型阵列四极杆质量过滤器的**设计实现的。该系统能够在比传统系统高得多的压力下运行，因此减少了对额外差压泵设备的需求。

详情介绍：

极其紧凑的尺寸和轻量化
的 1/20th与传统的残余气体分析仪相比，尺寸小，易于集成到任何系统中
由 9 个四极杆组成的高性能
微型阵列提供出色的灵敏度，而体积仅为传统四极杆的一小部分
高压作
可在高达 0.9Pa （7mTorr， 9 x 10-3mbar），从而减少或消除许多应用中昂贵的真空抽气
校准
中的可互换传感器头传感器头在发货前经过预调谐和校准，允许用户在现场更换传感器，而无需微调或技术专业知识
网络传感器
使用 RS-485 的一台 PC *多可以监控 8 个传感器。还可以通过外部 I/O 进行无 PC 的扫描作。
用户友好的软件
Micropole Scanner™ 2 软件允许用户以各种模式监测气体的分压，例如趋势图、光谱图、条形图。

测量原理

四极杆质量分析仪由离子源、质量离子检测器组成。残余气体与高温细丝释放的热电子碰撞时被电离，由此产生的离子加速并汇聚到质量过滤器上。在质量过滤器上，将不同的直流电和 RF 施加到电极（四极杆）上，从而允许离子按质量分离。分离的离子被法拉第杯检测为电流。离子电流与残余气体的分压成正比。

测量原理

微极TM分析器

使四极杆质量分析仪****的功能是 MICROPOLETM分析器（MPA）;由九个四极杆组成的组合，充分利用了超精密光学蚀刻加工技术和玻璃/金属接合技术。MPA 的开发催生了四极杆质量分析仪，这是世界上*小的残余气体分析仪，同时提供与传统的大型质谱仪相同或更好的灵敏度。分析器是一个插件单元。它采用的传感器单元已针对分压进行了校准，并提供**总压和分压测量。

应用

腔室状态监测

Microople System QL 系列由于其紧凑性而长期用于测量残留气体。在金属溅射工艺中，必须降低氧基气体的分压，以避免溅射金属氧化。一旦腔室暴露在空气中进行维护，需要时间来减少残留气体，四极杆质量分析仪适用于检查腔室状况。

等离子体过程监测

四极杆质量分析仪具有一种用于等离子体过程的原位过程监测技术，包括蚀刻、溅射和干洗。在通过反应溅射沉积透明导电氧化物薄膜的过程中，氧基气体的控制对于透明度和导电性都至关重要。近年来，半导体工艺的复杂性需要额外的工艺监控工具，以缩短设备启动时间并检测工艺异常。

外形尺寸（mm）

规格
微极系统
频谱发生器

型	QL-SG02-065-1A	QL-SG02-100-1A	QL-SG02-300-1A
质量范围	米/Z 2-65	米/z 2-100	米/Z 4-300
质量过滤器类型	卡德鲁波尔
探测器	法拉第杯
测量扫描速度	50 - 6400 毫秒/分钟/z
电离电压	43eV 或 70eV 可选
工作温度	15 - 45°C
工作湿度	80%RH 或更低（不冷凝）
储存温度	0 - 80°C
重量（带 SMPA 型传感器专用夹具）	575 克
设计	宽 150 x 高 62 x 深 747 （毫米）
RS485 通信波特率	115.2K / 38.4K / 9.6Kbps
模拟 I/O 接口	输入：0-10V 2ch，输出：0-10V 4ch
接触式 I/O	刀具状态 3 通道、控制信号输入 3 通道、设定点输出 5 通道
电源输入	直流 24V +/-5%，100mVpp，50W
连接器类型	圆形连接器：PRC03-23A10-4M

可滚动

* 以下传感器规格基于 400ms m/z 单位的扫描速度。
* 包括基于 Windows 10 及更高版本的配置和数据采集软件。

传感器

型	MPA8-7-2/65C SMPA8-7-2/65C SMPA8-7-2/65K	MPA8-5-2/100C SMPA8-5-2/100C SMPA8-5-2/100K	继电器 SMPA8-1-2/100CR 继电器 SMPA8-1-2/100KR	MPA8-1-4/300C SMPA8-1-4/300C SMPA8-a-4/300K
测量上限压力（N2）*1	0.5帕	0.2帕	0.1帕	0.2帕
大使用压力（N2）2	0.9帕	0.6帕	0.1帕	0.4帕
*小可检测分压（N2）	5.0×10 元-6帕（70eV）
分辨率（FWHM： N2）	1.2±0.3 m/z 单位	1.0±0.3 m/z 单位	1.5±0.3 m/z 单位	1.8±0.3 m/z 单位
*高烘烤温度（ SG 已删除）	350°C
*高工作温度（ SG 安装）	150°C
安装法兰	ISO-KF16 （NW 16）、CF34 （ICF 34）
重量	MPA：CF34 法兰 50g SMPA：ISO-KF16 法兰 50g SMPA：CF34 法兰 70g		SMPA：ISO-KF16 法兰 50g SMPA：CF34 法兰 70g	MPA：CF34 法兰 50g SMPA：ISO-KF16 法兰 50g SMPA：CF34 法兰 70g
灯丝	Y2O3/IR 2个		3%Re/W 2个	Y2O3/IR 2个
RoHS 指令	合规

可滚动

* SMPA 型传感器由真空接头上的网状保护，旨在延长传感器在等离子体工艺等恶劣环境中的使用寿命。

*1 Q 质量数信号输出饱和的压力。超过此压力时，信号输出可能与实际压力不对应。

*2 可作的上限压力。如果工作压力超过极限压力，测量可能会停止以保护传感器。

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产品名称：HORIBA堀场四极杆质量分析仪