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  • 产品名称：HORIBA堀场电容式压力计

  • 产品型号：VG-200S
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
**压力测量对于包括半导体，FPD, HDD, PV和涂层在内的各种行业的真空工艺是至关重要的。电容式压力计从膜片的变形来确定总压力，当膜片的两侧施加压力差时，膜片发生形变。电容式压力计较于其他方法的优点是: • 高精度 • 压力输出对气体的依赖较小 • 相对气体的耐腐蚀性
详情介绍：
  • 微型自加热设计
  • **的电极结构带来高性能和高稳定性
  • SUS316L隔膜
  • 可从温度控制 （55，100°C ） 或非加热型选择
  • 一键调零
  • 电源要求+/-15VDC 或 24VDC


  • 符合 CE 和 RoHS 标准
  • 型 VG-211S 系列 VG-221S 系列
    F.S. 测量范围 133.32 帕斯 （A） 1.3332 kPa （A）， 13.332 kPa （A）， 133.32 kPa （A） 133.32帕斯 （A） 1.3332 kPa （A）， 13.332 kPa （A）， 133.32 kPa （A）
    传感器温度 *1 安倍 （25°C） 55°C / 100°C
    精度 *2 0.5% R.S. 0.25% R.S. 0.5% R.S. 0.25% R.S.
    分辨率 0.03% F.S. 0.01% F.S. 0.03% F.S. 0.01% F.S.
    零温度系数 0.01% F.S./°C 0.005% F.S./°C 0.005% 满量程 /°C 0.0025% 满量程 /°C
    跨度温度系数 0.05% 读数/°C 0.03% 读数/°C 0.03% 读数/°C 0.02% 读数 /°C
    响应时间 < 60 毫秒
    工作温度 *3 10-50°C
    接液材料 SUS316L
    加压极限 300kPA （A） 350kPa （A） 300kPa （A） 350kPa （A）
    输出信号 0-10VDC 负载电阻：10kΩ 或更高
    I/O 连接器 D-Sub 15 针
    电源电压 +15VDC±5%、*大 0.1A -15VDC±5%、*大 0.1A +15VDC±5%，*大 0.6A。-15VDC±5%，*大 0.6A。
    24VDC±5%，*大 2.4W 24VDC±5%，*大 22W
    预热时间 15 分钟 60 分钟（55°C 温度控制型）
    120 分钟（100°C 温度控制型）
    集电极开路输出 额定电压：30V 额定电流：50mA
    重新归零输入 *4 现电压触点输入 触点开路电压：13V *大触点电流：1.3mA
    标准接头 *5 KF16， 1/2 英寸 VCR 母头， ICF34， 1/4 英寸 VCR 母头
    可滚动

    *1 传感器温度显示在铭牌上。 订货时请注明传感器温度。
    *2 线性，迟滞和重复性都包括在内。 (环境温度25℃)
    *3 在规定的环境条件下，当产品周围有热源或某些产品紧密放置时，环境温度可能超过规定的环境温度。
    *4 零点可调范围±5%。
    *5 订货时请注明配件。

     




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