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  • 产品名称：HORIBA堀场电容压力计

  • 产品型号：VG-200
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
VG 系列电容式压力计尺寸紧凑，采用全金属设计，可选配自动温度调节功能。
详情介绍：
  • 紧凑型自加热设计
  • 电极结构带来高性能和高稳定性
  • 镍合金隔膜具有良好的耐腐蚀性
  • 设定点输出（2 点）
  • 警报输出
  • 通过专用软件调整量程
  • 一键归零
  • 电源要求 +/-15V 直流电或 24V 直流电
  • 符合 CE 认证标准和 RoHS 标准

 

技术论文

电容薄膜真空计研发  (1.3MB)

摘要
"在用于制造发光二极管、半导体、平板显示器和太阳能电池的沉积制程或蚀刻制程中使用了各种气体，而制程压力对产品质量影响巨大，因此需要具备良好耐腐蚀性、无气体依赖性和高精度的真空计。为满足这些要求，HORIBA STEC 研发了电容薄膜真空计“VG-200 系列”，性能评估结果显示其具备出色的重现性和长期稳定性。本文将描述下 VG-200 系列产品的特性和性能评估结果。"



型   VG-200 型
满量程范围

133.32帕

1.3332 千帕斯卡/13.332 千帕斯卡/133.32 千帕斯卡
传感器控制温度 55°C/100°C
精度包括非线性、滞后、非重复性 * 0.5%R.S. 0.25%R.S.
分辨率 0.03%F.S 0.01%F.S
零温度系数

0.005%F.S./°C

0.0025%F.S./°C
跨度温度系数 0.03%R.S./°C 0.02%R.S./°C
工作温度 10°C 至 45°C（55°C），10°C 至 50°C（100°C）
响应时间 <60毫秒
预热时间 60 分钟（55°C），120 分钟（100°C）
耐受压力 350 千帕斯卡（A）
输出 模拟 0-10V，负载电阻：10kΩ 或更高
电源电压 ±15VDC ±5% 或 24VDC±5% @0.6Amax
设定值 触点形式： 1a，1b， 设定点数量： 2 电流充电容量： 0.1A @30VDC
可滚动

* 包括非线性、滞后、25°C 环境温度下运行 2 小时后的不可重复性。

类型 / 规格

 

  1. 满尺寸 2. 加热器设定温度 3. 配件
VG-221型

10T：133.32Pa
（1Torr）

11T：1.3332kPa（10Torr）

12T：13.332kPa（100Torr）

13T ： 133.32kPa（1000 托）

055 ： 55°C
100 ： 100°C 		KF16 ： KF16
8CR ： 1/2VCR-F
CF34 ： ICF34
可滚动

● 请选择满量程、加热器设定温度和配件。● 如果您需要闹钟初始设置，请联系我们。

 

外部尺寸

电容压力计 VG 系列的外形尺寸



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