HORIBA堀场直接液体注入系统 VC-1420

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产品名称：HORIBA堀场直接液体注入系统
产品型号：VC-1420
产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：

VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源，组建更紧凑的汽化系统。 HORIBA 可为您提供由 VC 系列和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统：一种用于流量测量的液体质量流量计一种用于蒸气流量测量的高温质量流量控制器阀门、过滤器、加热器等

详情介绍：

尺寸紧凑
可安装在各种位置
*畅销的 TEOS 汽化系统
结合 SEF 或 LF，可实现数字控制
无需特殊鼓泡罐或汽化罐
DeviceNetTM 型产品系列

符合 RoHS 标准

型	VC-1420 系列
产生的流量*1（在 TEOS 生成期间）	*大 5.0 CCM 转换（液相转换）
支持的液体	TEOS、P（OCH3）3、C6F6
温升	*高 150°C
产生的压力*1	减压
外部泄漏完整性	1.0x10-8Pa·m3/秒
内部泄漏完整性	1.0x10-6Pa·m3/秒
湿材料	316L 不锈钢（抛光表面）
内部加热器容积	交流 100V 至 120V 70W（35Wx2）
使用的温度传感器	热电偶 K 型（CA）
耐压性	1.0MPa（克）
标准接头	液体入口：1/8 英寸 VCR 型公头出气口：1/4 英寸 VCR 型母头
*1 因液体类型而异。
*CCM 是表示气体流速的符号（25°C 时 mL/min，101.3 kPa）。

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