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  • 产品名称：HORIBA堀场混合注入系统液体汽化器

  • 产品型号：MV-2000系列
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法，即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。
详情介绍：


  • 使用螺旋流加热方法实现稳定的低温汽化
  • 大流量汽化（增加稳定性数据）
  • 可汽化易热解的液体源
 
型 MV-2000 系列
液体材料 除对不锈钢有腐蚀性的液体（例如 HCl、HF）外的所有液体
设定温度 按汽化条件（控制阀 ： *高 140 °C 汽化器 ： *高 200 °C）
泄漏完整性 ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s （He）
内部泄漏标准 ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s （He）
接液部件 SUS316L、PFA
温度传感器 K 型热电偶 （CA）
耐压性 1MPa（克）
标准接头 液体入口：1/8 VCR 型 外螺纹 载气入口：1/4 VCR 型 内螺纹 气体出口：1/2 VCR 型 外螺纹
工作温度 15 - 50 °C
选择 空气阀（内漏标准：≤ 1×10-9 Pa·m3 / s（He））
可滚动
  • 产生的流量可能因液体材料、生成量、生成条件等而异。我们会在咨询时推荐*适合您需求的型号。
  • 蒸发器内部有一个加热器、温度传感器和开关。请联系我们以获取有关其规格的更多详细信息。

 

外部尺寸



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