HORIBA堀场自动供液系统 LU-A1000

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简单介绍：

LU系列以不间断、**和可靠的方式将液态化学品输送至液体材料烘烤系统和注入系统。这增加了正常运行时间，减少了操作人员手动操作和制程污染的风险。 LU系列提供自动执行残余液体清洗程序的功能。使用 LU 系列提高了供液能力和保养效率。

详情介绍：

型	LU-A1000 系列
支持的液体	TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS
供应方式	He 气体的压力运动
供气压力	压力运动：0.3 至 0.6 MPa （G）;吹扫用：0.3 至 0.6 MPa （G）、OP N20.6 至 0.7 MPa （G）
坦克	*多可连接 5 加仑容器（超出生产范围）
操作	使用来自供电系统的外部信号自动供应/停止
作区域显示详细信息	压力误差显示;触发警报时：显示保持功能（手动复位）;液位显示;序列等
气体连接	请参阅基本流程
电源	交流 100 至 240 V，50/60 Hz，300 VA
电力连接	AC 100 至 240 V 断路器连接，信号插座
外形尺寸	见外形尺寸图

* 请在与 STEC 会面后就上述规格做出决定。

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产品名称：HORIBA堀场自动供液系统