HORIBA堀场紧凑型加热汽化系统 LSC系列

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简单介绍：

HORIBA销量人气的加热汽化系统为满足目前高科技工业的需求而开发。该系统可在无需载气的情况下进行稳定的材料汽化，例如 TEOS（流量 600 SCCM）和 H2O（流量 2 SLM）。为方便操作，所有设备维护都可以在设备前端进行。

详情介绍：


产生的流量	H2O 2SLM， TEOS 600 SCCM（*大）
工作压力	*大 1.33kPa
源水箱容积	2.7 升
热调节法	通过热调节器进行 PID 控制
液体表面检测方法	浮动开关
内部质量流量控制器	SEC-8400 系列
气压阀	波纹管类型
液体连接和气体接触区域的材料	SUS316L、PFA
工作温度	20 至 35°C
外部输入	气压阀打开/关闭、质量流量控制器流量设置信号（0 至 5 V DC/0 至 100% F.S.）、紧急停止信号、自动归零信号（可选）
外部输出	温度报警、液位 H.H. 报警、液位信号（H、M、L）、READY 信号、质量流量控制器流量输出信号（（0 至 5 V DC/0 至 100% F.S.）、温控浴槽内部风扇停止报警、阀门电压监控器（可选）
电源	交流 100 V，单相 50/60 Hz，1.5 kVA
其他	自动充电系统：可连接到 LU 系列。

* 流量控制范围因液体类型而异。
* SCCM 和 SLM 是表示气体流速（mL/min、0°C 时 L/min、101.3 kPa）的符号。

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产品名称：HORIBA堀场紧凑型加热汽化系统