产品名称：HORIBA堀场高精度红外温度计（内置式）

• 高测量精度±0.1°C*和优异的重复性0.1°C（2σ）*。

*给定条件下的实际值。

应用

用于需要高精度温度测量的半导体和FPD生产

• 如果样品位于真空室中
  可以从室外通过窗口对样品进行温度测量。
  
• 在FPD生产过程中对液晶衬底的表面温度进行测量时
  由于是非接触式测量，物体表面不会被损坏。
  
• 在抛光过程中进行温度控制时
  由于是非接触式测量，物体表面不会被损坏。
  

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• 测量波长	8 ~ 14 µm
  测量范围	-50 ~ 200℃
  输出分辨率	光学数字输出: 0.1℃    电流输出 ≤0.025%F.S.
  精度* (光学数字输出)	±4.0℃ (物体温度 -50℃) ±0.8℃ (物体温度 -20℃) ±0.6℃ (物体温度 0℃) ±0.5℃ (物体温度 23℃) ±0.4℃ (物体温度 100℃〜) (物体温度的中间点采用线性插值，插值数据四舍五入到小数点后一位。)
  重复性* (光学数字输出)	0.7℃ (物体温度 -50℃) 0.5℃ (物体温度 23℃) 0.5℃ (物体温度 200℃) (如果发射率=1.000，则使用10次测量的2σ值)
  响应时间（光学数字输出）	光学数字输出: ≤1.4 s (运行平均1秒，在95%的响应下)
  数据采样周期	0.1 s
  显示更新周期	光学数字输出: 0.2 s  电流输出: 0.1 s
  测量直径	Φ8mm/距离150mm（入射光量90%）
  辐射率设置	0.001 ~ 1.000 可改变（在出厂时设置）
  操作温度和湿度	0 ~ 55℃, 35 ~ 85%RH (无冷凝)
  电源	DC24V±5%
  功能	光学数字输出（JIS F05） 电流输出4 ~ 20mA（负载电阻100Ω，非绝缘）
  外形尺寸	55×44×96mm　附带电源、电线（标准长度2米）
  重量	≤300 g

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  *条件：工作温度24 ~ 29℃（包括附件的温度），湿度55±20%，发射率校正设置为1.000。

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