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  • 产品名称：HORIBA堀场双通道高精度HF浓度计

  • 产品型号：HF-SP-CU
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
高精度、高性能的 HF 浓度计支持 +/- 2.0 ppm（*高精度）微制程管理、高速采样和输出、双通道传感器和传感器内压力校正功能。 适用于半导体精细制程控制。
详情介绍：
  • 高精度：+/- 2.0 ppm（*高精度）
  • 高速采样和输出
  • 双通道传感器实现了对供料槽和腔体的测量

  • 传感器内压力校正功能

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