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  • 产品名称：HORIBA堀场高精度 TMAH 浓度计

  • 产品型号：HE-960H-TM-S
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
可准确测量 TMAH（四甲基氢氧化铵）的浓度。TMAH 是半导体制程中光刻胶显影液的主要成分。重复性： +/- 0.003% 内。测量范围：0 - 3 %。配备耐化学腐蚀的碳传感器。
详情介绍：

  • 高精度。重复性： +/- 0.003% 内
  • 宽测量范围
        浓度：0 - 3%，电导率：0 - 1000 mS/cm
  • 自动切换测量范围显示
  • 支持三类测量：TMAH 浓度、电导率和温度
  • 耐化学腐蚀碳传感器
  • 24V 直流电源

  • 符合 RoHS 标准

型号名称 HE-960H-TM-S 系列
测量对象 四甲基氢氧化氢
测量范围 浓度：0 - 3%，电导率：0 - 1000 mS/cm
重复性 +/- 0.003wt% 以内（温度变化小于 +/- 0.5°C，使用等效电导率输入）
线性 +/- 0.003wt% 以内（使用等效电导率输入）
传输输出 输出数量：4
触点输出 输出：5 点
通信输出 RS-485 系列
电源 24V 直流 +/- 10% 10W
兼容的传感器 FES-510 系列
传感器的接液材料 GC、PFA、Karletz®
可滚动

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