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产品详情
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  • 产品名称:HORIBA堀场晶圆背面冷却系统

  • 产品型号:GR-300 系列
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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简单介绍:
GR-300 系列可以控制用于冷却晶圆背面的气体,晶圆通过静电卡盘系统固定到位。 GR-300 系列的稳定性和**性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。
详情介绍:


  • 压力控制更加稳定和**
  • 质量流量传感器(可选)
  • 兼容各种配件
  • 符合 RoHS 标准

 

应用示例

在以下示例中,GR-300 系列正在控制用于冷却晶圆背面的气体,晶圆通过静电卡盘系统固定。


外形尺寸



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