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  • 产品名称：HORIBA堀场微流量压力不敏感流量模块

  • 产品型号：D700uF
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
微流量压力不敏感质量流量模块 D700uF（Micro Flow） 专为 ≤ 5SCCM 流量应用而设计。 ≤ 5SCCM 流量控制在高纵横比工艺中一直非常关键。 专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
详情介绍：
  • 低至 0.025SCCM 的流量控制能力
    • **的调谐气体控制，增强工艺可调性
  • ≤ 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制
    • 提供高生产率和更好的过程性能
  • 内部流量计量
    • 所有制造产品的性能可靠
  • 状态监控器功能
    • 提供更多内部数据，实现更智能的故障预测
  • PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性


    • 坚固耐用，颗粒风险更低，减少停机时间并优化产量

    • *1：请联系我们了解支持的气体类型和满量程流量。
      *2：流量精度可保证低至 0.1 SCCM N₂ 等效量。
      *3：这是 25 °C 和 1.0 ≤ 10 × 10 时的保证值      -3Pa（A）.
      *4：根据我们的条件，使用校准 N₂ 气体来保证这一点。设置时间可能因气体类型和作环境条件而异。
      *5：压力扰动必须小于每秒 20% 的压力变化和 ±70 kPa/sec（±10 PSI/sec）。
      *6：EtherCAT 是德国 Beckhoff Automation GmbH 授权的注册商标和**技术。      ®




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