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  • 产品名称：HORIBA堀场*佳性能压敏质量流量模块

  • 产品型号：D717T
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
D700T 是专为关键半导体制造工艺设计的*佳性能压力不敏感质量流量模块。D700T 采用了 HORIBA CRITERION 基于压力的流量测量和控制技术，以提供行业**的可重复和准确的性能。此外，D700T 的独特之处在于利用了具有双阀结构的****流量控制算法，使客户的气体输送系统能够解决多种挑战。
详情介绍：
  • ≤ 100 毫秒的**快速建立时间（设置为 Set、Step up 和 Step-down）
  • 入口和出口压力不敏感的性能
  • 先进的故障检测功能，用于诊断压力传感器偏移、阀座泄漏和流量精度变化
  • 重复性在 0.15 %S.P. 以内
  • *佳精度规格在 0.45 %S.P.* 以内（标准：0.8 %S.P.）
  • 更宽的工作温度范围 （15-60 °C）
     

*注：D700T 是单一气体配置。向 Horiba 询问规格。

*1 流量精度可保证低至 0.1 SCCM N2 等效值。
*2 这是 25 °C 和 10-3 Pa （A） ≤ 1 × 下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 25 °C 时的 N2 气体。凝固时间定义为凝固时间变化的 2 %S.P. 或 0.05 %F.S.，以较大者为准。但是，如果设置变化小于 0.5 %F.S.，则为设置变化的 50%。
*4 压力扰动必须小于每秒 20% 的压力变化和 ±70 kPa/sec （±10 PSI/sec.）
*5 安装后需要调整零点以消除方向影响。

*6 EtherCAT® 是德国 Beckhoff Automation GmbH 的注册商标和**技术许可。


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