HORIBA堀场非接触式化学药液浓度计 CS-900

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简单介绍：

下一代湿法制程。HORIBA 提供提升产能的化学药液浓度管理设备，以帮助改进制程。

详情介绍：

为达到半导体湿法制程中所需的严格化学药液浓度控制，HORIBA 通过设计紧凑设备，以及通过其原有传感器设计保持稳定测量和确保操作人员**，实现更强大功能以满足需求。

从外部将传感器直接连接到 PFA 管路，实现零污染。这消除了在安装传感器时进行管路施工的要求，从而减少化学事故。此外，通过升级光学系统，设备变得更加紧凑，同时保留 CS-600F*1 的原始规格。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纤型化学药液浓度计。

稳定性

测量条件
测量频率：每 3 秒
移动平均数：16 次
温度：室温
管径：3/4 英寸

初始样品浓度
NH3 : 0.95% H2O2 : 5.15% H2O: 93.9%

测量结果
样品（实际液体）测量 1 小时，展示出良好的稳定性。

型号名称		非接触式药液浓度监测仪
型		CS-900 型
测量方法		吸收光谱
浓度计算		温度补偿多变量分析
测量范围/ 重复性（mass%）	型号名称	元件	可测量范围	重复性	模拟输出范围
	CS-900-1P-1P25P5 系列	新罕布什尔州3	0.00%-1.20%	±0.05%	0.00-10.00
		H2或2	0.00%-5.50%	±0.10%	0.00-10.00
		H2或	93.3%-100.0%	±1.0%	-
	CS-900-1P-P8P8	新罕布什尔州3	0.20%-0.80%	±0.03%	0.00-1.00
		H2或2	0.20%-0.80%	±0.03%	0.00-1.00
		H2或	98.4%-99.6%	±0.3%	-
测量条件	1）测量频率：每 3 秒 2）移动平均：16 次
管	PFA 管 1 英寸或 3/4 英寸（请勿使用防静电型 PFA 管）
样品条件*1	样品温度： 20 至 80°C 样品温度、大气温度波动： ±1 °C（时间：1 小时）样品压力：小于 0.2 MPa （G）样品压力波动： 0.02 MPa 以内
电源	直流 24V
功耗	阿波罗。30W（不包括启动时的瞬态电流）
重量	显示单位： Apporox.0.9kg 传感器单元：Apporox。2.9 千克
尺寸（WxDxH）	显示单元： 96x135x96mm 传感器单元： 238x135x190mm
倾斜角度	传感器单元：垂直方向 ±3 度以内横向 0 至 90 度
光源	5 年
通信	并行 I/O、RS-232C、模拟输出

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产品名称：HORIBA堀场非接触式化学药液浓度计