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  • 产品名称：HORIBA堀场化学溶液监测系统

  • 产品型号：CS-1000型
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
能够对 BEOL 工艺中使用的含有微量元素的多组分化学溶液进行浓度管理*1. ppm 级的低浓度组分*2在化学溶液中，无需任何预处理即可检测到。只需在制造现场安装整合在一个独立机柜中的一体化系统即可开始使用*3. *1 “back end of line”的缩写，指的是半导体前端工艺中的布线形成过程。 *2 ppm = 百万分之一。对于液体成分，1 ppm 表示 1 升液体中存在 1 毫克的成分。 *3 SEMI S2 认证。
详情介绍：

检测 PPM 级的低浓度组分

通过提高光谱仪的性能（扩大的波长范围和更高的分辨率）并结合来自 pH 计和电导率计的信号，现在可以检测 ppm 级的低浓度成分。

同时测量两种不同的化学溶液

该装置配备了两条独立的样品流线。通过完全隔离流路，它可以同时测量两种不同的化学溶液。

每六个月 4 小时的维护

配备具有自动校准功能的 pH 计。维护仅包括更换灯以及 pH 计的内部溶液和校准溶液瓶。

【基本规格】

产品名称 化学溶液监测系统
型 CS-1000 型
测量项目 化学浓度、电导率、pH 值
测量原理 吸收光谱法、2 电极法、玻璃电极
目标化学品 半导体制造工艺中使用的多组分化学溶液（详情请联系我们）
尺寸 700 （W） × 610 （D） × 1640 （H） mm（不包括突出部分）
重量 约 200 公斤
接液材料 柜式（PFA、PTFE）
吸光度监测仪（PFA、PTFE、石英、Kalrez™）
电导率计（PFA、碳、Kalrez™）
pH 计 - 排水管使用（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烃树脂、THV、PFA、Kalrez™、PharMed BPT）
※Karlez™ 是 DuPont de Nemours， Inc. 的商标。
符合标准 CE ， KC ， FCC 规则 Part15 ， UKCA ， SEMI S2
可滚动




【安装条件】

环境温度 20 至 30 摄氏度（± 0.5 度/1 小时内，应避免温度突然变化）
环境湿度 40 至 70%RH（应无结露）
电源 AC 190~240V （单相）、50/60Hz
功耗 约 355VA（不包括启动时的瞬态电流）
通信 模拟输出：Hardwired_4-20mA、串行：RS-485_Modbus RTU、并联 IO（参考附件）
※ 当测量值未更新时，如监视器错误，信号输出固定为 1.5mA。
可滚动




【保养】

消耗品 由客户或 HORIBA 服务工程师更换零件。
卤素灯 （额定寿命：约 1 年）
Deteurium 灯 （额定寿命：约半年）
试剂：pH4、pH7、KCl 3.33moL AgCl 饱和物（置换期限：约半年）


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