产品分类
联系我们
  •   联系人：骆婷
  •   联系电话：0799-6669801
  •   移动电话：13717021988
  •   Email：hl@tamasaki.com
  •   公司地址：
  •   江西省萍乡市安源区春雷粮
  •   油批发市场招商中心二楼1-3室


产品详情
所在位置: 首页> 产品目录> OHKURA大仓>
查看大图

  • 产品名称：OHKURA大仓卧式扩散炉 DF1000

  • 产品型号：
  • 产品厂商：其它品牌
  • 产品价格：0
  • 折扣价格：0
  • 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍：
详情介绍：
OHKURA大仓卧式扩散炉 
卧式扩散炉是进行半导体制造工艺中的一环，即热处理的系统。其结构是水平组装加热器室，并堆叠2-4层，有效利用了纵向空间，热处理的种类包括扩散、氧化等，处理温度也由低温至高温不等，使用本公司生产的高性能控制器，可应对各种工艺需求。
特点
■均热性提高
通过将与使用温度相应的加热器和本公司生产的高性能控制器结合使用，实现更加稳定的温度控制和均热长度。
■支持100-200mm晶圆
扩散炉系统直径为φ100mm-φ200mm，可以根据客户的要求提供合适的扩散炉。
■简单的维护性
即使其他加热器正在升温，也可**更换热电偶以及加热器。
■性价比
精选所用部件，采用实用结构，实现低价格。
■支持翻新
外形尺寸已控制到*小，因此也能用于更新老旧且空间有限的系统。
OHKURA大仓卧式扩散炉 

* 请输入您的名字，方便我们和您联系
* 请输入您的电话，方便客服及时解答您的问题
* 请输入您详情地址，方便详细提供当地的市场讯息