产品名称：ACE差压大流量控制器 DPFM/DPFC250 系列

差压大流量控制器 DPFM/DPFC250 系列本大流量控制器（质量流量控制器）在流体下游侧设置压力检测孔，通过与流量管内的差压来测定流量微差压力计的开发实现了广泛的流量范围和先进的测量。

特点：

1． 可测量小流量
在湍流中进行差压测量，流路径小，流动路径长度短。
在传统的热类型中，湍流是层流，因此不可能在大流量下小型化。
EX） 500SLM：流路径 1/2" 流路径

5" 2. 流量计通过极低压损耗
微差压测量，响应速度几乎与管道电阻相当

流量控制的对象：

目标气体流量和压力（目标）
流量：100SLM、200SLM、500SLM、1000SLM、2000SLM、4000SLM
压力：大气压力至 0.99MPa
参考校准压力：0.2MPa、0.5MPa（未指定）

目标气体：N2、空气、H2、CH4、Ar、CO2 氢气Max1000SLM（未来考虑2000SLM）

目标气体	N2、Air、H2、CH4、Ar、CO2
供应（入口）压力	0.4～0.7MPaG
下游（出口）压力	-0.2MPa 或更少，用于供应压力
流量满量程 （1）	300 SLM （L/min：0°C，1 atm 等效）
切割	对于 2% FS 或更少的设置，控制阀关闭
精度	±1% FS
可重复性	±0.5% FS
使用（精度保证）范围	0 至 50°c（10 至 40°c：保证精度），无冷凝
响应式	设定值前2秒以内（Typical）
安排	1/2 英寸 SML
耐压	0.99MPaG
电源电压	DC24V ±10%
外部输入 *C/C *SET	*关闭时：控制、打开时：关闭 *0~5VDC
外部输出 * 报警 *OUT	*警报时 ： 与闭 设定流量的差异 ： 上下 （ 9.9% FS ） 本体异常 （ 电源电压 ） *0 ~5VDC
空气供应压力（用于阀门驱动）	0.4～0.7MPaG
空气供应	• 4 毫米一触式
外部密封	1x10-7Pa/m3/sec（He）

差压大流量控制器 DPFM/DPFC250 系列本大流量控制器（质量流量控制器）在流体下游侧设置压力检测孔，通过与流量管内的差压来测定流量微差压力计的开发实现了广泛的流量范围和先进的测量。

ACE差压大流量控制器 DPFM/DPFC250 系列

ACE差压大流量控制器 DPFM/DPFC250 系列

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