产品名称：ACE层流差压质量流量控制器 AFC/AFM 系列

层流差压质量流量控制器 AFC/AFM 系列AFC-150
实现超小型化流量控制器测量气体在小型层流元件中流动时产生的气体压力差，进行温度和压力补偿，并测量和控制质量流量。
采用小型层流元件，实现了小型化。
通过适当选择流量元件，可以处理从微小流量到大流量的流量。

特点：

1． 可测量从微流量到大容量元件选择从 10nccm 到

50NLM 2。 全流方式的流量测量和控制对流入气体的暂时水分混入和冷凝有很强的

耐受性 3. 实现高速实际流量响应控制
4.
气体系统的温度和压力信息也输出，是气体供应系统诊断的理想选择。

目标气体	N2， Air， H2， CH4， Ar， CO2， CO， C3H8等
流量范围	10NCCM 至 50NLM（0°C，气压换算）
控制范围	2-100%　FS
精度	1 % FS
可重复性	±0.2 % FS
响应速度	2 秒内（满量程设置±达到 2% 的时间）
控制范围	2-100%
工作温度范围	0 至 50°c（10 至 40°c：保证精度），无冷凝
耐压	0.99MPa
外部密封	1x10-7Pam3/sec（He） 或更少
输入信号	0-5VDC，RS485（4-20mA 工厂选项）
输出信号	0-5VDC，RS485（4-20mA 工厂选项）
电源电压	DC24V ±10% 200mA 或更少
气体接触材料	SUS316、拜顿等（支持 SUS316L）
电源连接器	D-Sub 15 引脚（需要专用控制盒）
尺寸	表面尺寸 108mm 高度 62mm（不包括连接器）
配件	1/4 楔形等效接头（支持 VCR 等效接头）

* 对于金属密封，请指定 AFC-150M。

*对于 100 到 500 NLM，DPFC-250 和 DFPC-500 支持 1000 NLM 或更多。

层流差压质量流量控制器 AFC/AFM 系列AFC-150
实现超小型化流量控制器测量气体在小型层流元件中流动时产生的气体压力差，进行温度和压力补偿，并测量和控制质量流量。
采用小型层流元件，实现了小型化。
通过适当选择流量元件，可以处理从微小流量到大流量的流量。

ACE层流差压质量流量控制器 AFC/AFM 系列

ACE层流差压质量流量控制器 AFC/AFM 系列

ACE层流差压质量流量控制器 AFC/AFM 系列

ACE层流差压质量流量控制器 AFC/AFM 系列

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