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  • 产品名称：SIMCOION思美高超级清洁工艺设备

  • 产品型号：5225 AeroBar
  • 产品厂商：SIMCOION思美高
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简单介绍：
SIMCOION思美高超级清洁工艺设备 5225 AeroBar SIMCOION思美高超级清洁工艺设备
详情介绍：

超级清洁工艺设备型号5225 AeroBar

功能类别[按功能]静态酒吧(静态酒吧)]

型号5225气棒电离器是专为半导体等超级清洁工艺设备中的应用而设计的棒型电离器。

特长
  • 在世界范围内具有****的采用业绩的单晶硅电极，伴随着超低粒子特性，避免了电极材料引起的金属污染风险。
  • 脉冲直流方式的大范围除电能力
  • 由全数字电路控制的更稳定的离子产生和长期离子平衡
  • 通过在除电靶附近设置5200-SR外部传感器(可选)，可以反馈控制除电靶附近的离子平衡，而不是电离器主体(在5200-SR未连接的情况下，电离器主体内置传感器自动调整离子平衡)
  • 为半导体前工艺设置符合EFEM的长度条
  • 离子产生输出、离子产生时间、报警阈值等各种参数可以在广泛的范围内进行设定，从而可以灵活地应对长距离用途和气流较弱的环境等。
  • 只需输入参数即可获得高重现性，可在短时间内进行设置
  • 除了简单的报警IO之外，还可以通过免费提供的DLL进行实时监控，有助于掌握处理设备中的状态
 
方法
Model 5225 AeroBar
输入电压(输入电压) 24 V AC，50/60 Hz，1 W Typ.由IM6T供应。
通信形式： RS485(IM6T至5225之间)
输出电压；输出电压； 0 kv~约+/-20 kv
输出形式；输出形式； 脉冲DC模式，状态DC模式(可选)
输出电流： <15micro A 電流及び電圧制限回路内臓
连接连接器(连接器) RJ11，4极4芯
离子发生的时机 *小0.1sec，*大10sec正负可分别设定
电极(电极) 单晶硅电极可更换
臭氧产生量： <0.005ppm(24時間積算測定)
对应的清洁度 ISO Class 1，0.1 micron
尺寸：尺寸 高53 mm x深31 mm x长569 mm(-22)，721 mm(-28)，
907毫米(-36)，1128毫米(-44)，1412毫米(-56)，1636毫米(-64)，
1918毫米(-76)和2144毫米(-84)
重量(重量) -22：1.02公斤每额外长度0.17公斤/30厘米
外部包装(外部) ABS树脂(ABS)

Interface Module Model 5200-IM6T
输入电压(输入电压) 24V DC+/-5%，1.5A
通信形式： 以太网，RS232C
报警输出；报警输出 继电器触点(仅*V4.0或更高版本)
尺寸：尺寸 高度74 mm x深度71 mm x长度315 mm
重量(重量) 2公斤(千克)

SIMCOION思美高超级清洁工艺设备

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