产品分类
联系我们
  •   联系人：骆婷
  •   联系电话：0799-6669801
  •   移动电话：13717021988
  •   Email：hl@tamasaki.com
  •   公司地址：
  •   江西省萍乡市安源区春雷粮
  •   油批发市场招商中心二楼1-3室


产品详情
查看大图

  • 产品名称：SIMCOION思美高离子风棒

  • 产品型号：AeroBarMP 5635
  • 产品厂商：SIMCOION思美高
  • 产品价格：0
  • 折扣价格：0
  • 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍：
SIMCOION思美高离子风棒 AeroBarMP 5635 SIMCOION思美高离子风棒
详情介绍：

扩展ISO Class 1，10 nm兼容条形离子发生器AeroBarMP模型5635

功能类别[按功能]静态酒吧(静态酒吧)]

型号5635气棒MP电离器是一款超低颗粒产品，专为尖*半导体制造工艺等需要进行100 nm以下微粒管理的地方的除电用途而开发。



特长
  • 在世界范围内具有****的采用业绩的单晶硅电极，伴随着超低粒子特性，避免了电极材料引起的金属污染风险。
  • 通过独特的MP(脉冲调制)方法有效地将离子转移到目标的高静电消除性能
  • 即使在100 mm的距离下也可以使用的小电位摆动特性和杆长度偏差小的离子平衡
  • 通过智能控制电路始终自动管理离子发生状态和离子平衡
  • 1/4转可拆卸的交换式电极有助于减少维护工时
  • 由于电位摆动非常小的MP方式的特征，设置简便化，另外电位摆动的小也能有效地将长期离子平衡保持在管理基准内。
  • 为半导体前工艺设置符合EFEM的长度条
  • 24V DC驱动控制器内脏的紧凑型设计
  • 在全球范围内提供上等别的支持网络
 

方法
Model 5635 AeroBar MP
输入电压(输入电压) 24V DC+/-10%
输出电压；输出电压； *大约13.5 kv p-p可调
安装距离： 100 mm至1000 mm(无空气净化)
离子发生方法 电晕放电系统
MP(脉冲调制)方式调制频率1~33 Hz
离子平衡(离子平衡) 自动平衡调整方法
<+/-10V内 バー直下 位置による差異 <+/-10v
(600 mm距离)
电极(电极) 单晶硅电极可更换
吹扫气体(净化气体) 清洁骑士或N2
*大吹扫压力 310 Kpa
臭氧量：臭氧量 <0.05ppm(24時間積算値)
信号输出；信号输出 报警IO开路集电极输出
尺寸：尺寸 高度78 mm x深度34 mm x长度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750
/1900/2050/2200/2350毫米
外部包装(外部) ABS树脂(ABS)

什么是扩展ISO Class 1，10 nm？

对于扩展ISO Class 1，10 nm，ION Systems是ION Systems独自制定的清洁度的定义，以应对微小粒子管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class 1，10 nm使用与ISO 14644-1相同的容许粒子数的计算式，其容许粒子数在10 nm以上的粒径下为1200pc/m3(34pc/ft3)


SIMCOION思美高离子风棒

SIMCOION思美高离子风棒

SIMCOION思美高离子风棒

SIMCOION思美高离子风棒

SIMCOION思美高离子风棒

* 请输入您的名字，方便我们和您联系
* 请输入您的电话，方便客服及时解答您的问题
* 请输入您详情地址，方便详细提供当地的市场讯息