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产品详情
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  • 产品名称：QUARK准分子UV照射装置

  • 产品型号：QEF-230SPC
  • 产品厂商：QUARK夸克
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简单介绍：
QUARK准分子UV照射装置QUARK准分子UV照射装置QUARK准分子UV照射装置
详情介绍：
江西省江崎贸易有限公司
营业部陈先生
I37I706I088/I339799788I
网站：www.esaki.cn

网站：www.esaki.com.cn



用途

UVオゾン洗浄 ドライエッチング / ソフトアッシング UVアニール 表面改質 レジスト残渣除去 ガラス貼り合せ 光CVDなど成膜

仕様

波長 172nm
照射開口 218×218mm
*大照度 50mW/cm2
分布 ±7%
ユーティリティ N2、冷却水、AC200V
機能 真空対応可能、照度モニタ、フィードバック制御


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