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江崎中部地区办事处分享HORIBA堀场光发射光谱蚀刻终点监测仪EV-140C

日期:2025-05-05 06:49
浏览次数:19
摘要:该发射分析型终点监测仪用于等离子体半导体薄膜工艺中的终点检测或等离子体条件控制。 新开发的 Rapture Intensity 算法通过捕捉微弱的信号变化来实现终点检测。 捕捉细微发射变化的能力显著提高了灵敏度。 增强的抗干扰度确保了在恶劣环境下全天候生产线的高度稳定运行。

传感器单元

光学单元
波长范围 200 - 800 纳米
光学分辨率 <2.0 nm @ =200 - 500 nm
<2.5 nm @ =500 - 700 nm
(FWHM 理论分辨率)
光学设计
设计 像差校正 平场凹面光栅
焦距 140 毫米
二阶滤波器 内置
探测器
CCD 型 背照式线性 CCD 图像传感器
像素数 2048 × 64
A/D 分辨率 16 位
积分时间 20 ms - 2.5 s(10 毫秒步长)
规范
光纤输入 光纤
传感器单元尺寸 137 (W) × 156 (H) × 257 (D) 毫米
5.4 (W) × 6.1 (H) × 10.1 (D) 英寸
传感器单元重量 4.0 千克
连接室编号 1 通道
电源 24 V DC ± 10 %
功耗 12 VA(*大)
工作温度要求 15 - 35 °C
环境温度 0-50 °C (无冷凝)
工作湿度要求 25 °C 时 <80%RH(无冷凝)
前置 LCD 显示屏 运行状态指示灯 (Sensor err /Controller err)
冷却风扇 DC 风扇
输入/输出
◎ 用于带测量曲线链接的输出信号
输出端口号 2 通道
输出范围 0 - 5 伏直流
◎ 用于 PIO 远程协议
数字输出 PIO / (DI = 8 位 / DO = 8 位)
PIO 远程协议连接器 Dsub25S
(PIO 端口、模拟输出端口)
控制器接口 以太网 × 1 端口
可滚动

控制器单元

单位尺寸 197 (W) × 148 (H) × 250 (D) 毫米
7.8 (W) × 5.8 (H) × 9.8 (D) 英寸
WindowsXP 嵌入式 (英文版)
中央处理器 赛扬 1.3 GHz
主内存

1 GB

硬盘 80 吉字节
接口 以太网 × 2、RS232C × 2
电源 90 - 264 伏交流电,50/60 ± 3 赫兹
可滚动

远程协议功能

通信 PIO/RS232C 串行
*LAN 通信设计能力
可滚动

认证

标准 CE/FCC认证
可滚动

附属品

光纤
规范 石英纤维
纤维级 VIS 或 UV
纤维长度 2 米
可滚动

选择

直流电源单元
电源 90-264 V 交流 50/60 ±3 Hz
直流电源规格 24 V DC,2 A 输出
腔室适配器
适配器 聚光镜单元
PC 配件
PC 配件 液晶显示器/键盘/鼠标
PC 电池选项
不间断电源 控制器 PC 的 UPS 选项

江崎贸易公司简介:

 

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    主要合作客户有:关西涂料(ALESCO)、欧菲科技(O-film)、泰晶科技(TKD)、中芯国际(SMIC), 京东方(BOE) ,华星光电(CSOT),天马(TIANMA), 柔宇(ROYOLE) 丰田(TOYOTA), SUZUKI(铃木),比亚迪(BYD),大疆(DJI);骏马精密(ZAMA)等,凭借专业销售代理的经验,成熟的产品,赢得了广大客户的信任。    
    江西省江崎贸易有限公司会恪守“诚信、品质、快速、贴心”的服务宗旨,不断提升专业的技术服务水平,与客户及供应商实现共同发展。通过减少中间环节,并提供便利的配送服务,将实惠和安心送到每一个客户的手中。