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日本SIGMAKOKI西格玛光机自动平的台转动精度测量江西江崎介绍

日期：2025-06-03 06:35

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摘要：日本SIGMAKOKI西格玛光机自动平的台转动精度测量江西江崎介绍转动平台精度测量位置精度定位精度从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其*大值和*小值的差为定位精度。重复定位精度在平台的任意位置，从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的*大值。定义其数值中的*大值为重复定位精度。空行程 ...

转动平台精度测量

位置精度

定位精度

从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其*大值和*小值的差为定位精度。

重复定位精度

在平台的任意位置，从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的*大值。
定义其数值中的*大值为重复定位精度。

空行程

在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。
定义其中的*大值为空行程。

传动副间隙

在平台的任意位置，向正方向或负方向加载一定推力，我们定义其2个方向的偏移量的总和为传动副间隙

动作精度

台面跳动

我们定义转动平台转动1周时，其台面与安装底面在高度方向的*大偏移量为台面跳动。

同心度

我们定义转动平台转动1周时，实际的转动轴与理想的转动轴的偏差值为同心度。

（参考值）测量结果 (OSMS-60YAW)

结果

*大空行程

0.0163°

重复定位精度

单向定位精度 ↑
↓

0.0022°
0.0009°

定位精度

0.0330°

台面跳动

12µm

平行度

27µm

同心度

8µm

姿态精度

扭矩刚度

我们定义单位扭矩负载时的平台的角度位移量为扭矩刚度。

平行度

我们定义平台台面在固定不动时，相对于安装底面的平行程度为平行度。

*小位移量（MIM）

我们定义在平台的3个特定位置（两端和正中间）进行定位时，可实现的*小移动分辨率为*小位移量。
验证方法：分别在各个位置上，指令平台沿正方向和负方向分别移动10个点并测量相应的移动量。
测量时，分别使用了精密小位移传感器和自动准直仪。

（参考数据）*小位移量（MIM）HST-120YAW

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