设备概述
在日本交付了 100 多台，这是 LPE（液体、相、外延）薄膜晶体制造设备。 它由高精度立式管式炉、旋转升降驱动轴和具有极高温度控制精度的控制单元组成，可实现高效的薄膜晶体生产。
长处
- 出色的热均等性能
- 高精度样品轴旋转升降驱动机构
- 也可以扩展到现有的炉子（受限制）
选择
- 惰性气体引入机构
- 电信号的湿触点
- 排气盖
- 根据实际制造过程进行计算机自动运行控制（也可以中断手动作）
通过预先输入处理内容，目标、移动速度、旋转状态和旋转速度将以预定值自动执行
| LPE 薄膜晶体制造设备规格 | |
| 加热器容量 | 单相 200V 2.3kW×3 区 |
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加热室尺寸 直径 × 高度 mm |
φ280×H650 毫米 |
| 常温 | 800°C~900°C |
| *高温度 | 1000°C |
| 温度分布 | ±2°C（空炉稳定 φ100×H200mm 空间 850°C） |
| 温度波动范围 | ±0.2°C（空炉稳定时，850°C时φ100×H200mm空间） |
| 加热元件 | SSS 加热器 |
| 芯管 | φ220×φ205×长800mm |
| LPE 炉驱动装置（样品轴）规格 | |
| 提升速度 | 20~300 毫米/分钟 |
| 停止精度 | ± 1mm 以内 |
| 旋转方式 | 前进/反向 |
| 转速 | 20~300rpm （带软启动） |
| 转速变化精度 | ±1% FS 或更低 |