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  • 产品名称：HORIBA堀场标线 / 掩模颗粒检测系统

  • 产品型号：PD10-EX系列
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
使用一台机器完成颗粒检测和去除，以提高半导体制造过程的效率和产量
详情介绍：

自 1984 年推出以来，半导体光刻工艺中不可或缺的粒子检测系统 PD 系列根据客户的需求不断发展，今年是其成立 40 周年。
新产品“PD10-EX”以流行的传统型号“PD10”为基础，配备了颗粒去除功能，可以使用一台设备完成检测和去除。
此外，我们还开发了一种支持自动掩模/掩模传输的内部装置，有助于提高半导体制造工艺的效率和良率。
半导体行业的分析、测量和控制需求正在以****的速度变化，变得更加复杂和多样化。我们正在努力扩展 PD10-EX 的功能，使其能够进行颗粒成分的一站式分析和表膜测量※1薄膜厚度，我们将在未来继续提供新的可能性。

40 年历史特征其他功能


1. 通过集成颗粒检测和去除流程来提高工作效率和产量

我们的光罩/掩模粒子去除剂“RP-1”的功能，其粒子去除率超过 95%※2已与 “PD10” 集成。
这使得自动检测和去除颗粒成为可能。它还配备了一个多端口，允许同时设置两个包含标线/掩模的案例，从而允许连续检测和去除颗粒。

2. 通过与自动输送设备联动，促进制造过程的自动化和省力化

我们开发了自己的 EFEM（设备前端模块：在 OHT 之间传输标线/掩模的单元※3以及需要与 OHT 系统接口的颗粒检测系统）。我们灵活响应客户的规格，为自动化和节省劳动力做出贡献，这对于提高生产力、消除劳动力短缺和简化制造领域至关重要。

※1防尘膜，防止颗粒粘附在标线/掩模的图案表面上
※2将 5μm 玻璃珠附着在玻璃表面的内部测试结果。效果可能因用途和条件而异。
※3高架葫芦运输：一种自动运输装置，可将运输的物体保持在悬浮状态，并在安装在天花板上的轨道上运行



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