HORIBA堀场紧凑型工艺气体监测仪 MICROPOLE系统

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产品名称：HORIBA堀场紧凑型工艺气体监测仪
产品型号：MICROPOLE系统
产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：

MICROPOLE 系统是业内紧凑的完整质谱仪系统之一。紧凑的尺寸通过四极滤质器微型阵列的特别设计实现。该阵列提供了与传统质谱仪相似或更高的灵敏度，但体积更小。该气体监测系统能在比传统系统更高的压力下运行，因此减少了对额外真空泵的需求。传感器由工厂预调，并根据传输标准进行校准，用户可直接互换，而无需技术人员进行校准。

详情介绍：

轻型紧凑尺寸
尺寸仅为传统残余气体分析仪的 1/20，易于集成到任何系统中
高性能
9 个四极杆的微型阵列体积仅为传统四极杆体积的一小部分，可提供出色的灵敏度
高压操作
可在高达 0.9Pa（7mTorr，9×10-3mbar）的压力下使用，从而减少或消除了许多应用中昂贵的真空泵
校准中可互换的传感头
传感头在装运前经过预调和预校准，允许用户在现场进行传感器更改，而无需微调或使用专业技术
网络传感器
使用 RS-485 可让一台电脑监控高达 8 个传感器。这些系统也可以通过以太网进行远程监控
用户友好软件
Micropole Scanner™ 软件允许用户以各种模式监测气体分压，例如趋势图、模拟图、泄漏模式、条形图、3D 图等
监测仪控制器
选配的监测仪控制器可用于直接安装在光谱发生器上的真空室，用户无需电脑即可监控真空室

测量原理

体监测仪由离子源、质谱仪和测量部分组成。当残余气体与高温灯丝释放的热电子碰撞时，残余气体被电离，由此产生的离子加速并汇聚到质谱仪上。在质谱仪中，直流和交流电压被施加到四个圆柱形电极（四极杆）上，通过质量来分离离子。分离的离子被法拉第杯检测为电流。离子电流与残余气体的质量（分压）成正比。

MICROPOLETM 分析仪

MICROPOLETM 系统的特点之处就在于其采用 MICROPOLETM 分析仪（MPA）；九个四极杆的阵列充分利用超精密光学蚀刻加工技术和玻璃/金属接合技术。MPA 的研发成功制造了残余气体分析仪，同时提供与传统大型质谱仪相同或更好的灵敏度。该分析仪是一个插件。它配有一个已针对分压进行校准的传感器单元，并提供总压和分压测量。

External Dimension of Compact Process Gas Monitor MICROPOLE System

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产品名称：HORIBA堀场紧凑型工艺气体监测仪