HORIBA堀场大流量液体源汽化控制系统 LE系列

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简单介绍：

LE 系列大流量高效汽化器将通道和加热器元件嵌入铸铝块，确保*大的传热率，并消除冷点和冷凝风险。该液体源汽化控制系统可在高达 300℃ 的温度下运行，IPA（或等效物质）汽化效率可达 30g/min。

详情介绍：

新设计实现汽化率的大化

新喷嘴确保持续稳定的液体注入，实现稳定的蒸气输出浓度

全不锈钢设计大限度地提高耐腐蚀性，减少颗粒产生

适用于多种液体材料

应用液 H2O/IPA/TEOS/SiCl4

如果您需要蒸发此处未列出的任何液体材料，请联系 HORIBA。

*大汽化量（气体流速） H2O ： 10 克/分钟（12.4 SLM）
IPA ： 30 克/分钟（11.1 SLM）
TEOS ： 50 克/分钟（5.3 SLM）
SiCl4 ： 130 克/分钟（17.1 SLM）

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应用液	H2O/IPA/TEOS/SiCl4 如果您需要蒸发此处未列出的任何液体材料，请联系 HORIBA。
*大汽化量（气体流速）	H2O ： 10 克/分钟（12.4 SLM） IPA ： 30 克/分钟（11.1 SLM） TEOS ： 50 克/分钟（5.3 SLM） SiCl4 ： 130 克/分钟（17.1 SLM）