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  • 产品名称：HORIBA堀场热式气体分流器

  • 产品型号：FS-3000
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
FS-3000 结合了 HORIBA STEC 质量流量控制器（MFC）和 MuCube（主控制器）的功能。 通过配备 HORIBA STEC 专有控制算法的 MuCube 控制 MFC，FS-3000 实现了稳定的分流控制。
详情介绍：

控制算法通过控制流量比实现稳定的分流控制，同时利用 HORIBA STEC 控制优化技术控制 FS-3000 上流压力。 此外，即使分流比改变，控制算法也能实现对分流的高速响应。

  • 提高可扩展性、维护性能。 FS-3000 可通过高速信号处理分离多达 15 个通道。 若 MFC 出现故障，仅需更换故障从机即可。


  • 灵活响应所需规格 FS-3000 支持混合气体在内的多种气体。 此外，FS-3000 还支持 RS-485、DeviceNet 等用户接口。
  • 渠道 2-15 通道 工作温度 5-50°C（推荐范围：15-45°C）
    引入流速 取决于通道和引入流速 耐受压力 1000 千帕 （G）
    比率设定范围 取决于通道和引入流速 安装方向 自由
    供气压力条件 取决于通道和引入流速 控制界面 RS-485、DeviceNetTM
    阀门类型 O：常开 C：常闭 电源 主站、从站 DC24V
    （符合 ODVA 标准）
    响应* 取决于通道和引入流速    
    可滚动

    *每个通道的响应时间是以本产品的流量输出达到流量设定变化量的 98% 的时间计算的。*慢的响应时间是分流器的响应时间。




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