产品分类
联系我们
  •   联系人：骆婷
  •   联系电话：0799-6669801
  •   移动电话：13717021988
  •   Email：hl@tamasaki.com
  •   公司地址：
  •   江西省萍乡市安源区春雷粮
  •   油批发市场招商中心二楼1-3室


产品详情
所在位置: 首页> 产品目录> HORIBA堀场>
查看大图

  • 产品名称：HORIBA堀场光纤型化学药液浓度计

  • 产品型号：CS-600F
  • 产品厂商：HORIBA堀场
  • 产品价格：0
  • 折扣价格：0
  • 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍：
CS-600F 提供适合生产的更**功能，如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力，减少停机时间的稳定运行，以及提高空间生产率的紧凑尺寸，以满足先进半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。
详情介绍：
  • 尺寸更小，布局更灵活
    CS-600F 浓度计尺寸紧凑，与成熟型号（CS-100F1 系列）相比，高度降低 36%，体积减少 40%，样品单元光纤电缆所需的空间减少 46%。
    光源单元和浓度计主机可以远程单独安装，支持根据化学药液单元和清洗设备的位置灵活安装。
  • 高温化学溶液（20 至 80℃）的高稳定性在线测量
    新的光学系统和改进的处理算法支持在线测量高温化学药液，这是先进湿法制程的关键一步。这消除了冷却化学样品的需要。HORIBA 的 CS-600F 稳定性高，实现了更有效和准确的化学药液管理。
  • 背景校正频率显著降低
    与成熟型号（CS-100F1系列）相比，定期校正频率显著降低，这反过来又显著减少了机台停机时间，有助于提高产量。
  • 单台浓度计可测量多达六种化学药液（药液种类或浓度范围）
    单台浓度计可测量多达六种化学药液（药液种类或浓度范围）。可自由指定药液类型和浓度范围，CS-600F 保证满足各种检测要求。
  • 可输出多达六种组分的测量值（串行输出）


  • 成熟型号（CS-100F1 系列）可输出四种组分的测量值（串行输出）。CS-600F新型号能以串行输出方式输出多达六种组分的测量值。CS-600F型号模拟输出四种组分，而CS-100F1型号为两种。
  • 型 CS-600F 系列
    测量
    原理     		吸收光谱法
    计算
    原理     		温度补偿型多变量分析
    测量目标 新罕布什尔州3/小时2或2/小时2O （reperesentative specification）
    * 有关其他化学品，请联系 HORIBA。
    测量范围 新罕布什尔州3重量：0.00~1.20质量%、H2或2：0.00~5.50质量%、
    H    2输出值：93.3~100.0质量%
    重复性 新罕布什尔州3：±0.05质量%、H2或2：±10质量%、H2O：±1.0 mass%
    化学温度：±1°C/1小时以内
    样品溶液
    温度     		20〜80°C
    测量周期 约 3 秒
    LCD
    显示屏     		（1） 测量值 （%）
    （2） 浓度警报 （HH/H/L/LL）
    （3） 错误代码 （EXXX）
    （4） 化学温度 （°C）
    （5） 串/并行通信状态 （P/S）
    （6） 背景校正失败次数 （CXXX）
    按键输入 （1） 浓度警报设置 （HH/H/L/LL）
    （2） 浓度值偏移
    （3） 背景校正
    （4） 热水校正
    （5） 随温度变化的浓度变化
    并行
    输入     		输入电压为 12 V 至 30 V DC，通过光电耦合器
    绝缘 （1） 并联浓度警报输出（开/关）
    （2） 用于测量
    的切换化学溶液（包括背景校正）
    （3） 热水校正
    并行
    输出     		晶体管输出（NPN 集电极开路），通过光电耦合器
    绝缘 通电时的*大电流：5 mA DC（无内部保护电阻）
    断电时的*大电压：30 V DC
    （1） 浓度警报（HH/H/L/LL 警报时打开）
    （2） 监控错误（错误时关闭）
    （3） 测量（测量时打开）
    （4） 测量
    用化学溶液类型 （5） 回波到热水校正输入
    （6） 警告（发生时开启）
    （7） 背景校正状态 8） 热水校正状态
    串行输入 RS-232C
    （1） 要求读取测量数据
    （2） 选择要测量
    的化学溶液类型 （3） 热水校正
    串行
    输出

    RS-232C
    （1） 实测数据号
    （2） 化学溶液类型
    （3） 浓度值
    （4） 错误代码
    （5） 化学温度

    模拟
    输出     		4 mA 至 20 mA
    如果出现监视器错误、停止测量或
    选择了无效的化学范围，则信号输出固定为 1.5 mA。负载电阻必须为*大值 500 Ω。
    化学溶液
    温度输入     		接线端子入口（端子螺钉 M3）
    铂电阻温度传感器：Pt100
    （三线型，A 级） *不包括温度传感器。
    空气
    （用于作和吹扫）     		连接端口：4 mm 外径快速接头、
    压力：0.2 MPa ±0.02 Mpa
    电源 100~230V AC（单相）、50/60Hz
    功耗 约 85 VA
    （不包括启动时的瞬态电流）
    重量 （监视器） 约 3.6 kg
    （灯单元） 约 2.8 kg
    （样品池） 约 1.2 kg
    环境温度 （显示器、灯单元） 20°C 至 30°C
    （样品池、光纤） 20°C 至 35°C
    （应避免温度突然变化，±1°C/1 小时内）
    环境湿度 （监视器、灯装置、样品池）40% 至 70%（
    应无结露）
    安装时的倾斜角度 （监视器、Lamp 单元）在 ±1° 以内
    光纤 长度：5 m，*小弯曲半径：R 150 mm
    可滚动

    图表




* 请输入您的名字，方便我们和您联系
* 请输入您的电话，方便客服及时解答您的问题
* 请输入您详情地址，方便详细提供当地的市场讯息