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产品详情
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  • 产品名称:HORIBA堀场独立式化学药液浓度计

  • 产品型号:CS-100系列
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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简单介绍:
CS-100 系列为半导体制程各种清洗和刻蚀工艺的药液提供完整的、高精度的化学药液浓度计。 除高速响应和紧凑设计等特点外,浓度计还可实时测量每种组分的浓度,通过报警提醒化学药液变化和自动供应的时间。 具备执行短周期测量的能力,可准确检测浓度变化。
详情介绍:

可测量化学药液示例


  • 实时跟进浓度信息
  • 全自动测量
  • 顺序测量期间采取综合措施消除气泡影响
  • 采用 24V 直流电源,具有更高的**保障
  • 重量轻,设计紧凑
  • 更高的产能
  • 符合 RoHS 标准


型号名称

CS-100 型
测量原理 吸收光谱法
样品温度 20 至 30 摄氏度
环境温度 20 至 25 摄氏度
组件 *多 4 个组件
化学范围 *多 4 个量程
通信 并行 I/O、模拟输出、RS-232C
模拟输出
(4-20 mA)
*多 2 个组件
尺寸 205(宽) X 329(深) X 269(高)毫米
电源 直流 24V
易损件 卤素灯
波长 紫外/近红外
接液材料 PTFE、PFA、蓝宝石或石英
可滚动

图表



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