产品名称：ACE排气压力控制器 EPS5000 系列

排气压力控制器 EPS5000 系列本装置用于防止由于主排气管管路的压力变化而对单片式清洗装置进行制造工艺的波动。 自主研发的气动驱动橡胶膨胀阀可实现小巧、极低的压力损失和高速压力控制。通过适当控制排气压力，排气流量得到适当控制，排气管道的总流量和压力管理可显著降低能源成本。

主要用途

• ♦ 单片式清洗装置的腔室压力控制
• ♦ 清洁拔模室或清洁卡车腔室压力控制
• ♦ 受排气管压力波动影响的设备和工艺
• ♦ 液晶气刀槽排气压力控制
• ♦ 清洁室中的排气压力控制
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术语	EPS-5200	EPS-5150	EPS-5100
连接管口径	200A	150A	100A
流量范围（1次侧）	0.5 ～ 15 Nm3/min	0.5 ～ 10 Nm3/min	0.3～ 5 Nm3/min
	如果流量小于*低流量，则可能无法达到设定压力。
压力损失	15 Nm3/min 时为 50Pa	10 Nm3/min （空气） 时为 20Pa 或更少	10 Nm3/min （空气） 时为 20Pa 或更少
控制阀的配合	200A配管出	150A 配管出	100A配管出
调节压力范围（主侧压力）	-50 至 -999Pa（取决于与大气压力的差压和二次侧压力）
二次侧压力（阀下游压力）	（控制压力-50）Pa以下
	如果差压小于此数值，则主侧调整范围将变窄。
压力精度	± 2% 满量程
控制纹波（稳定控制时的波动）	± 1% 满量程（二次侧压力波动± 10Pa 以内）
耐压（主侧压力）	50kPa（与大气压力的差压）
响应式	2 秒内（典型值），98% 的设置
流体温度	10 ～ 50℃
主体环境温度（保证精度温度）	15 ～ 35℃
电源电压	24V  DC ± 10%
外部输出	压力信号：1 至 5V 直流
	报警 ： NPN 晶体管开路收集器 DC 30V < 100mA
控制器 （CD-100）	可进行现场设定或外部设定切换
外部设定信号	压力设定信号：4~20mA
	阀门 ： 强制打开，控制
	（可选） 控制 / 打开 （C/O）： 24V 直流开/关
报警信号	压力差异（可选）
	本体异常 （ 包括压力控制器的异常 ）
串行通信	RS485
供应空气 （N2） 压力	0.3±0.1MPaG
每个端口	Φ6mm 一触式（阀、电空部）
	Φ4MM 一触式（压力测量用）
	向阀供给配管任意
气体接触材料	PVC， 拜顿， EPDM
安装姿势	自由
控制阀状态	电源OFF时，保持阀状态

如有上述规格以外的要求，如管道直径、流量、压力等，请另行咨询。

需要排气流量控制时 ，备有型号DPFC系列。 请联系我们。

ACE排气压力控制器 EPS5000 系列

ACE排气压力控制器 EPS5000 系列  EPS-5100

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