产品名称：ACE大流量控制器

ACE 流体制御机器 AP100，AP150,  AP160,  AP200,  AP250,  AP310,  AP500 等. 

AP250　/　AP500AP250 和 AP500 是一种大流量控制器，适用于半导体制造工艺中使用的清洁气体的压力控制，由气动控制单元（相当于 AP100N）和圆顶稳压器部分组成。此外，在外部安装压力传感器，将来自该传感器的信号输入到气动控制部，通过对气动控制县的阀进行ON/OFF控制，调整调节器部的圆顶的内部压力，自动控制外轮廓压力，使其与任意设定压力值一致。 此外，通过将流量传感器安装在外部，也可以将其用作流量控制器。*大控制流量为AP250为5001/分钟，AP500为2000L/分钟，*大控制压力为600kPa左右。AP250 支持 1/2" VCR，AP500 支持 3/4" SWAG 等效产品或 3/4" VCR 等效产品。 在真空中使用时，可处理所有气体，如等效导体清洁气体、惰性气体、腐蚀性气体和危险气体。

类型表达式	AP250	AP500
主要用途	FPD，用于燃料电池	FPD，用于燃料电池
目标气体	N2、空气、H2等	N2、空气、H2等
入口压力	999kPa 或更少	999kPa 或更少
耐压	小于 1500kPa	小于 1500kPa
压力设置	在显示设定器中设定	在显示设定器中设定
控制方法	圆顶气压控制	圆顶气压控制
控制压力	0～500kPa	0～500kPa
*大流量	500L/分钟	2000L/分钟
响应时间	达到设定值前1秒	达到设定值前1秒
输入信号	0～5VDC　Cont/Close	0～5VDC　Cont/Close
	RS485	RS485
外部传感器输入	（4 至 20mA 标准）	（4 至 20mA 标准）
输出信号	报警输出，RS485	报警输出，RS485
配件	相当于 1/2 英寸 VCR 或 1/2 英寸楔形锁	3/4 英寸 VCR 等效件或 3/4 英寸楔形锁等效件
板材泄漏	10-5Pa/m3/秒或更少	10-5Pa/m3/秒或更少
精度	取决于压力传感器规格	取决于压力传感器规格
电源电压	24VDC±10％	24VDC±10％
电流消耗	200mA　Max．	200mA　Max．
使用温度	0~50°c无结露	0~50°c无结露
面间外形尺寸	W70×D145×H124mm	W80×D178×H170mm
压力传感器	无（外部）	无（外部）
显示设置器	是（可分离安装）	是（可分离安装）

ACE 流体制御机器 AP100，AP150,  AP160,  AP200,  AP250,  AP310,  AP500 等. 

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ACE大流量控制器

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