ACE大型流量计 AP160M

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产品名称：ACE大型流量计
产品型号：AP160M
产品厂商：ACE
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简单介绍：

ACE大型流量计 ACE大型流量计

详情介绍：

ACE 流体制御机器 AP100，AP150, AP160, AP200, AP250, AP310, AP500 等

AP160M
半导体自动调节
器，适用于从低真空到高真空的真空工艺设备AP160M 与半导体制造工艺中使用的气体相对应，通过自动控制比例电磁阀的开启度来自动调节管道中的压力。内置压力传感器，无需向外部添加传感器。*大控制压力约为650kPa，*大控制流量为100kPa差压，有500cc/分钟和3000cc/分两种接合。 AP160M 型号通过脉冲宽度调制控制比例电磁阀，从而提高响应能力并消除滞后，从而在大约 1 秒内达到恒定压力。压力低接头为1/4"VCR等价物，所有接触气体部分和压力传感器均由金属制成，可处理半导体工艺气体以及惰性气体、腐蚀性气体、危险气体等所有气体。

类型表达式 AP160M
主要用途用于半导体
目标气体半导体工艺气体餐具气体
入口压力 500kPa 以下
耐压小于 1000kPa
压力设置需要从计算机等输入压力设定
控制方法比例电磁阀纸浆批发
控制压力 0～500kPa
*大流量差压100kPa时500cc/分钟和3000cc/分钟2种
响应时间达到设定值前1秒
输入信号 05VDC　Cont/Close
R485
外部传感器输入（420A　可）
输出信号报警输出 RS485.0 至 5VDC
配件 1/4〃VCR相当品
板材泄漏 10-6Pa/m3/秒或更少
精度 ±5kPa（800kPaFS 时）
电源电压 24VDC±10％
电流消耗 200mA　Max．
使用温度 0~50°c无结露
面间外形尺寸 W36×D46×H60mm
压力传感器是（内置）
显示设置器不装备

ACE 流体制御机器 AP100，AP150, AP160, AP200, AP250, AP310, AP500 等.

ACE大型流量计

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