日本新宇宙COSMOS XPS-7Ⅱ 只需更换传感器组件，即可检测各种半导体材料气体 资料下载
检测对象
毒气/半导体材料气体
检测范围
根据规格而定
检测原理
定电位电解式
检测方式
泵吸引式
应用行业
石油化工、半导体制造
产品描述：只需更换传感器组件，即可检测各种半导体材料气体
01.产品特点
· 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
· 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
· 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
| 型号 | 气体 | 满量程 |
| XDS-7NH | NH3 | 100ppm |
| XDS-7SH | SiH4 | 25ppm |
| XDS-7DC | SiH2Cl2 | 25ppm |
| XDS-7AH | AsH3 | 250ppb |
| XDS-7PH | PH3 | 1ppm |
| XDS-7BH | B2H6 | 500ppb |
| XDS-7SE | H2Se | 250ppb |
| XDS-7GH | GeH4 | 1ppm |
| XDS-7CL | Cl2 | 5ppm |
| XDS-7CF | ClF3 | 1ppm |
| XDS-7HC | HCl | 25ppm |
| XDS-7HF | HF | 10ppm |
| XDS-7HB | HBr | 10ppm |
| XDS-7NO | NO | 100ppm |
| XDS-7HS | H2S | 50ppm |
| XDS-7CO | CO | 250ppm |
| XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XDS-7SD | SO2 | 10ppm |
| XDS-7ND | NO2 | 10ppm |
| XDS-7NF | NF3 | 100ppm |
04.产品参数
江崎目前已获得CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克、REVOX莱宝克斯、ORIHARA折原、SONIC索尼克、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM日脉、AND艾安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧铄科、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日、NITTO KOHKI日东工器等多家品牌授权认证。
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京都玉崎株式会社-中部子公司
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2023.9.23