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日本SIGMAKOKI西格玛光机直线运动平台的精度测量江西江崎介绍

日期：2026-08-18 01:41

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摘要：日本SIGMAKOKI西格玛光机直线运动平台的精度测量江西江崎介绍直线运动平台的精度测量位置精度定位精度从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其*大值和*小值的差为定位精度。空行程在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的*大值为空行程。重复...

直线运动平台的精度测量

位置精度

定位精度

从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其*大值和*小值的差为定位精度。

空行程

在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的*大值为空行程。

重复定位精度

在平台的任意位置（两端或中心等），从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的*大值。定义其数值中的*大值为重复定位精度。

传动副间隙

在平台的任意位置（两边·中心等），向正方向或负方向加载一定推力，我们定义其2个方向的偏移量的总和为传动副间隙。

动作精度

运动平行度

我们定义平台在全行程范围运动时，台面在高度方向的偏移量为运动平行度。

XY垂直度

以XY轴平台的X轴为基准，这时用直角尺测量Y轴方向在动作中的位移量。这个偏移量杯定义为XY垂直度。

Z轴垂直度

在Z轴平台上设置千分表，并测量与某一基准垂直台间的相对偏移量。我们定义这个偏移量为Z轴垂直度。

（参考值）测量结果 (HPS60-20X)

结果

*大空行程
平均空行程

1.10µm
0.62µm

重复定位精度

单向定位精度 ↑
↓

0.77µm
0.62µm

定位精度

2.97µm

扭矩刚度（俯仰·偏摆·转动）

扭矩刚度表征在偏离台面中心的位置上施加某一载荷时的平台倾斜程度。
（台面中心和工件重心不一致。）
我们定义在距离台面中心1cm的位置上加载1N的负载时而引起的台面的倾斜角度（单位：秒）为扭矩刚度。

姿态精度

俯仰

平台在移动过程中，在俯仰方向的台面的角度变化量。
我们定义其在全行程动作过程中的*大角度变化量为俯仰精度。

平行度

我们定义在固定不动时的平台台面与固定用基准面的平行程度为平行度。

偏摆

平台在移动过程中，在偏摆方向的台面的角度变化量。
我们定义其在全行程动作过程中的*大角度变化量为偏摆精度。

（参考）XY轴平台的精度测量

*小位移量（MIM）

我们定义在平台的3个特定位置（两端和正中间）进行定位时，可实现的*小移动分辨率为*小位移量。
验证方法：分别在各个位置上，指令平台沿正方向和负方向分别移动10个点并测量相应的移动量。
测量时，分别使用了精密小位移传感器和自动准直仪。

（参考数据） *小位移量（MIM） HST-50X

江崎目前已获得CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克、REVOX莱宝克斯、ORIHARA折原、SONIC索尼克、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM日脉、AND艾安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧铄科、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日、NITTO KOHKI日东工器等多家品牌授权认证。
另优势品牌：日东工器，前田，IMAO今尾，亚速旺，气立可，CKD，日本精机等。
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