日本MIKASA旋转涂布机MS-B150系列

日期：2025-06-01 18:24

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摘要：日本MIKASA旋转涂布机MS-B150系列日本MIKASA旋转涂布机MS-B150系列

日本MIKASA旋转涂布机MS-B150系列日本MIKASA旋转涂布机MS-B150系列

特点

■ MIKASA**的旋转控制系统不但可以达到5，000rpm以上的高速旋转，且旋转数精度全实现了 ±1rpm的高精度

■ 可任意设定旋转数（0~5，000rpm）和到达旋转数的时间（0.2sec~999.9sec），因此可轻易地控制膜厚。

■ 可追加滴下设备（MS-A150/MS-A200）

详情介绍：

膜厚测量装置	FILMETRICS制 F50
光刻剂	OFPR-800LB（东京奥卡制造）
基板尺寸	6 inch硅晶圆
目标膜厚	1微米
膜厚分布	±0.6%

功能

■ 采用AC伺服电动机
● 无刷式，不会造成无尘室汚染。
● 减少电动机发热，也减少因连续使用时的温度上升造成对膜厚再现性的影响。
● 电力消费低，减低环境的负担。
■ 扩张程序功能
● *多有100阶段程序、可记忆10种模式，更容易使用。
■ 所有机型皆标准配备数字式真空计
■ 方形基板等可设定停止时位置，超方便
■ **装置机构（真空压及盖子）
● 由于薄膜或晶圆容易破裂，而降低吸附压力时，可以变更**装置机构（真空）的稼动压力。

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刷涂机、刮涂机、喷涂机

联系人：李先生 13402684488（微信同号）

对准曝光机
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋转涂布机
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（密封）

显影刻蚀装置

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