产品名称：azbil山武蓝宝石隔膜真空计

azbil山武蓝宝石隔膜真空计V8S
受压部采用蓝宝石。这是一款采用MEMS加工技术，提高了耐沉积性能的隔膜真空计。
通过提高反仓库性能减少停机时间
*高使用温度可达250℃，与高温工艺气体兼容
小型化减少了占地面积

V8 型蓝宝石隔膜真空计采用采用 MEMS 处理技术的传感器，提高了抗沉积性能。
受压部分采用单晶蓝宝石，具有高耐腐蚀性、高耐热性和优异的机械性能，V8S的*高工作温度为250°C。

通过提高反仓库性能减少停机时间

通过应用MEMS加工技术，我们将位移量提高到了1/10。

应力平衡结构
通过增加压力敏感部件外周的厚度并
抵消外周和中心之间的应力平衡，
压力敏感部件变得不易变形并减少零点偏移。

图像

凹/凹传感器
通过将压敏部件表面加工成凹凸状，
分割附着膜，减少沉积物的应力影响。

图像

*高使用温度可达250℃，与高温工艺气体兼容

通过分离电路板和传感器部件并审查所用材料，V8S 型号已实现 250°C 的*高工作温度。

小型化减少了占地面积

内置零件的空间效率得到提高，体积缩小了40%。（与我们传统产品相比）

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